Параметры пленок алюминия и новая технология легирования алмаза

Наука и жизньFan

Рефераты

Подготовил Леонид Ашкинази.

Алюминий бывает разным

Тонкие алюминиевые плёнки используются во многих ситуациях, и для разных применений нужны разные их свойства, например шероховатость, сопротивление, толщина. Для некоторых применений желательно иметь возможно более гладкие плёнки, для других существенна температура сверхпроводящего перехода. Свойства плёнок зависят от состава и структуры, в частности, от размера кристаллов и их ориентации (текстуры). Многие характеристики определяются технологией нанесения (например, термическое это напыление или магнетронное распыление), режимом напыления (скорости напыления, вакуума), внесением при напылении примесей.

Исследователи из Института радиотехники и электроники им. В . А. Котельникова РАН, Физико-технологического института им. К. А. Валиева РАН, Высшей школы экономики и Южно-Российского государственного политехнического университета им. М. И. Платова (г. Новочеркасск) изучили параметры плёнок алюминия толщиной 150 нм, полученных с помощью двух технологий напыления при разной температуре подложки. Во-первых, плёнок, изготовленных методом магнетронного распыления на подложки Si(111) при 300 K, во-вторых, полученных термическим испарением на подложки Si(111) и оксидированные кремниевые подложки SiO2/Si(001) при 77 и 300 K. «Магнетронные» плёнки оказались крупнозернистыми (160—280 нм) и шероховатыми (4,1—5,0 нм). Ситуация для «термических» плёнок зависела от температуры подложки при напылении. Если эта температура была 300 К, размер зерна оказывался 20—54 нм, шероховатость 1,3—1,5 нм, при 77 К размер зерна составлял 15—45 нм, шероховатость 1,7—2,6 нм. Температура сверхпроводящего перехода для «магнетронных» плёнок была 1,2 К, для «термических» — 2,3 К. Сопротивление мелкозернистых плёнок оказалось в несколько раз больше, чем у крупнозернистых.

O'qishni davom ettirish uchun tizimga kiring. Bu tez va bepul.

Roʻyxatdan oʻtish orqali men foydalanish shartlari 

Tavsiya etilgan maqolalar

Когда ещё был лес… Когда ещё был лес…

Рассказ Саши Тэмлейн «Когда ещё был лес…»

Наука и жизнь
Всем пригож песец Всем пригож песец

Песец – полярный кочевник с удивительной выносливостью

Знание – сила
Свежий взгляд Свежий взгляд

Основательница компании Trinity Yachts Анна Гончарук о том, как начался ее путь

Y Magazine
Биосфера и пластик Биосфера и пластик

Когда-нибудь ученые, наверное, будут выделять пластиковый век

Наука и техника
Скифы Северного Причерноморья: легенды и реальность Скифы Северного Причерноморья: легенды и реальность

Как греки превратили скифов в символ воинской чести и простоты

Знание – сила
Достоевский и раненая самость Достоевский и раненая самость

Психологическая анатомия духовного напряжения

Знание – сила
Математические фронты Великой Отечественной войны Математические фронты Великой Отечественной войны

В 1930-х годах в России сформировалась плодотворная математическая жизнь

Наука и техника
Новости науки Новости науки

Самый яркий квазар, рекордный гамма-квант и другие новости науки

Знание – сила
Рихард Зорге: Самый успешный разведчик по версии Эдгара Гувера Рихард Зорге: Самый успешный разведчик по версии Эдгара Гувера

Легендарный Рихард Зорге: «”Висбаден” всегда на связи»

Знание – сила
Спинной мозг самолета – автопилот Спинной мозг самолета – автопилот

Пока человек толком не понимал, что такое полет, автопилот был не нужен

Наука и техника
«Красный» чай в «Бирюзовой чайхане» «Красный» чай в «Бирюзовой чайхане»

Ташкентец Ширяевец стал проводником поэта Есенина в мир Туркестана

Знание – сила
Будьте здоровы Будьте здоровы

Наночастицы для борьбы с раком и уникальная операция в Казани

Знание – сила
Галльская война Галльская война

Юлий Цезарь: завоевание Галлии

Знание – сила
Восточное путешествие с Агатой Кристи Восточное путешествие с Агатой Кристи

Детективы, Восток и археология – всё это сошлось вместе в судьбе Агаты Кристи

Знание – сила
Убийство в Гилее Убийство в Гилее

Как братоубийство Савлия изменило судьбу Скифии

Знание – сила
Переход на отечественный софт: комфорт превыше всего Переход на отечественный софт: комфорт превыше всего

Как осуществлялось импортозамещение в сфере кадастра и геодезии

Наука и техника
«Мозг – самый важный орган» «Мозг – самый важный орган»

Что такое память? Где она «хранится»? Почему мы помним не всё?

Знание – сила
Скифы: наследие, не расшифрованное до конца Скифы: наследие, не расшифрованное до конца

Скифы – народ, о которых мы знаем многое, но почти ничего не понимаем

Знание – сила
Тувинская «долина царей» – кладбище вождей азиатской Скифии Тувинская «долина царей» – кладбище вождей азиатской Скифии

Археология постепенно заставляет тувинскую «долину царей» открывать свои тайны

Знание – сила
Что такое интеллект? Что такое интеллект?

В каком направлении движется развитие искусственного интеллекта?

Знание – сила
Роботы-манипуляторы: от самодельной руки до промышленных коботов Роботы-манипуляторы: от самодельной руки до промышленных коботов

Как устроены манипуляторы и как можно сделать простейшего робота своими руками

Наука и техника
Первые шаги стратегической авиации Первые шаги стратегической авиации

О том, ценой какого труда, в каких муках рождалась стратегическая авиация

Наука и техника
Удивительный и животворный трепанг Удивительный и животворный трепанг

Древние императоры пили настой трепанга как эликсир молодости и долголетия

Знание – сила
Ежевичный холм и его обитатели Ежевичный холм и его обитатели

Выход жизни на сушу – вопрос, интересующий не только специалистов

Наука и техника
Другая история Другая история

Человеческому терпению нет предела, но это явно не тот случай!

Знание – сила
Дорогой лапши Дорогой лапши

Китайская лапша давно свернула с Великого шелкового пути

Seasons of life
Прогулка в облаках Прогулка в облаках

Эта кухня — очень нежная, гармоничная и в то же время функциональная

Идеи Вашего Дома
Отправь меня на Луну Отправь меня на Луну

Цифра «три», похоже, стала для яхты Orion символом

Y Magazine
Что посеешь? Что посеешь?

Почему растет доля контрафактных и фальсифицированных семян

Агроинвестор
Архангелогородский рудознатец Федор Прядунов Архангелогородский рудознатец Федор Прядунов

Судьба первого русского нефтепромысла

Знание – сила
Открыть в приложении