Параметры пленок алюминия и новая технология легирования алмаза

Наука и жизньFan

Рефераты

Подготовил Леонид Ашкинази.

Алюминий бывает разным

Тонкие алюминиевые плёнки используются во многих ситуациях, и для разных применений нужны разные их свойства, например шероховатость, сопротивление, толщина. Для некоторых применений желательно иметь возможно более гладкие плёнки, для других существенна температура сверхпроводящего перехода. Свойства плёнок зависят от состава и структуры, в частности, от размера кристаллов и их ориентации (текстуры). Многие характеристики определяются технологией нанесения (например, термическое это напыление или магнетронное распыление), режимом напыления (скорости напыления, вакуума), внесением при напылении примесей.

Исследователи из Института радиотехники и электроники им. В . А. Котельникова РАН, Физико-технологического института им. К. А. Валиева РАН, Высшей школы экономики и Южно-Российского государственного политехнического университета им. М. И. Платова (г. Новочеркасск) изучили параметры плёнок алюминия толщиной 150 нм, полученных с помощью двух технологий напыления при разной температуре подложки. Во-первых, плёнок, изготовленных методом магнетронного распыления на подложки Si(111) при 300 K, во-вторых, полученных термическим испарением на подложки Si(111) и оксидированные кремниевые подложки SiO2/Si(001) при 77 и 300 K. «Магнетронные» плёнки оказались крупнозернистыми (160—280 нм) и шероховатыми (4,1—5,0 нм). Ситуация для «термических» плёнок зависела от температуры подложки при напылении. Если эта температура была 300 К, размер зерна оказывался 20—54 нм, шероховатость 1,3—1,5 нм, при 77 К размер зерна составлял 15—45 нм, шероховатость 1,7—2,6 нм. Температура сверхпроводящего перехода для «магнетронных» плёнок была 1,2 К, для «термических» — 2,3 К. Сопротивление мелкозернистых плёнок оказалось в несколько раз больше, чем у крупнозернистых.

O'qishni davom ettirish uchun tizimga kiring. Bu tez va bepul.

Roʻyxatdan oʻtish orqali men foydalanish shartlari 

Tavsiya etilgan maqolalar

Июньская метель снежноцвета Июньская метель снежноцвета

Снежноцветы считаются красивейшими деревьями, и с этим трудно не согласиться

Наука и жизнь
Зерно останется малодоходным Зерно останется малодоходным

Хороший урожай не позволит ценам сильно расти

Агроинвестор
Код будущего Код будущего

Умные очки для плавания, роботы-сварщики и другие технологии будущего

ТехИнсайдер
Окаменелости — у порога Окаменелости — у порога

Мы привыкли думать, что научные чудеса происходят где-то далеко...

Наука и жизнь
День… суслика День… суслика

Я протёр глаза и приподнялся на локте: да это же суслик!

Наука и жизнь
Что такое интеллект? Что такое интеллект?

В каком направлении движется развитие искусственного интеллекта?

Знание – сила
Мы длинной вереницей идём за Синей птицей… Мы длинной вереницей идём за Синей птицей…

Синяя Птица — символ счастья, которое ищут все люди, но находят лишь немногие

Наука и жизнь
Суда-ветераны Суда-ветераны

Возраст большинства речных судов в России превышает 50 лет

Наука и техника
Самые быстрые Самые быстрые

Когда речь заходит о скорости, победитель может быть только один

ТехИнсайдер
Всем пригож песец Всем пригож песец

Песец – полярный кочевник с удивительной выносливостью

Знание – сила
Учимся понимать наши растения Учимся понимать наши растения

Кажется, чего уж проще: полить цветы. Но и здесь есть ряд тонкостей...

Наука и жизнь
Жизнь с начала времён Жизнь с начала времён

Как «каменные страницы» отражает биографию планеты Земля

Наука и жизнь
Рихард Зорге: Самый успешный разведчик по версии Эдгара Гувера Рихард Зорге: Самый успешный разведчик по версии Эдгара Гувера

Легендарный Рихард Зорге: «”Висбаден” всегда на связи»

Знание – сила
Скифы Северного Причерноморья: легенды и реальность Скифы Северного Причерноморья: легенды и реальность

Как греки превратили скифов в символ воинской чести и простоты

Знание – сила
Восточное путешествие с Агатой Кристи Восточное путешествие с Агатой Кристи

Детективы, Восток и археология – всё это сошлось вместе в судьбе Агаты Кристи

Знание – сила
Масложировая отрасль снова идет на рекорд Масложировая отрасль снова идет на рекорд

Валовой сбор масличных может превысить 34 млн т

Агроинвестор
Разноцветные пески Калининградских пляжей Разноцветные пески Калининградских пляжей

Почему после шторма песок на Калининградском пляже становится… разноцветным?

Наука и жизнь
Инженерия рекордов Инженерия рекордов

О самых ярких случаях и новейших тенденциях в сфере спорта

ТехИнсайдер
Тувинская «долина царей» – кладбище вождей азиатской Скифии Тувинская «долина царей» – кладбище вождей азиатской Скифии

Археология постепенно заставляет тувинскую «долину царей» открывать свои тайны

Знание – сила
Убийство в Гилее Убийство в Гилее

Как братоубийство Савлия изменило судьбу Скифии

Знание – сила
Одна маленькая лягушка и 10 000 мышей Одна маленькая лягушка и 10 000 мышей

Почему батрахотоксин смертелен для человека, но безвреден для маленькой лягушки?

Наука и жизнь
Биосигнатуры и их разоблачение: жизненно важные улики Биосигнатуры и их разоблачение: жизненно важные улики

Судить о возможном существовании иной жизни приходится по косвенным признакам

ТехИнсайдер
Беременные андроиды Беременные андроиды

В последнее время идет прогресс в работах над искусственной маткой

ТехИнсайдер
Боспор: царство греков и варваров Боспор: царство греков и варваров

Почему события, происходившие в Боспоре, имели для Афин большое значение?

Наука и жизнь
Первые шаги стратегической авиации Первые шаги стратегической авиации

О том, ценой какого труда, в каких муках рождалась стратегическая авиация

Наука и техника
«Красный» чай в «Бирюзовой чайхане» «Красный» чай в «Бирюзовой чайхане»

Ташкентец Ширяевец стал проводником поэта Есенина в мир Туркестана

Знание – сила
Роботы-манипуляторы: от самодельной руки до промышленных коботов Роботы-манипуляторы: от самодельной руки до промышленных коботов

Как устроены манипуляторы и как можно сделать простейшего робота своими руками

Наука и техника
Достоевский и раненая самость Достоевский и раненая самость

Психологическая анатомия духовного напряжения

Знание – сила
«Мозг – самый важный орган» «Мозг – самый важный орган»

Что такое память? Где она «хранится»? Почему мы помним не всё?

Знание – сила
Устаревшие технологии Устаревшие технологии

Вахта на Европе длится долго. Всё приедается

Наука и жизнь
Открыть в приложении